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Colonna, S., Terrasi, A., Scalese, S., Iacona, F., Raineri, V., La Via, F., et al. (2003). Thermal oxidation of As and Ge implanted Si(100). SURFACE SCIENCE, 532, 746-753 [10.1016/S0039-6028(03)00216-4].

Thermal oxidation of As and Ge implanted Si(100)

MOBILIO, Settimio
2003-01-01
2003
Colonna, S., Terrasi, A., Scalese, S., Iacona, F., Raineri, V., La Via, F., et al. (2003). Thermal oxidation of As and Ge implanted Si(100). SURFACE SCIENCE, 532, 746-753 [10.1016/S0039-6028(03)00216-4].
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