Terrasi, A., Rimini, E., Raineri, V., Iacona, F., La Via, F., Colonna, S., et al. (1998). Precipitation of As in thermally oxidized ion-implanted Si crystals. APPLIED PHYSICS LETTERS, 73(18), 2633-2635 [10.1063/1.122536].

Precipitation of As in thermally oxidized ion-implanted Si crystals

MOBILIO, Settimio
1998-01-01

1998
Terrasi, A., Rimini, E., Raineri, V., Iacona, F., La Via, F., Colonna, S., et al. (1998). Precipitation of As in thermally oxidized ion-implanted Si crystals. APPLIED PHYSICS LETTERS, 73(18), 2633-2635 [10.1063/1.122536].
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