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E., C., V., F., A., M., A., C., Caliano, G., Pappalardo, M. (2006). Fabrication Techniques in Micromachined Capacitive Ultrasonic Transducers and their Applications. In Mems/Nems Handbook: Techniques And Applications (pp. 19-48). NY : Springer.

Fabrication Techniques in Micromachined Capacitive Ultrasonic Transducers and their Applications

CALIANO, Giosue';PAPPALARDO, Massimo
2006-01-01
2006
0-387-24520-0
E., C., V., F., A., M., A., C., Caliano, G., Pappalardo, M. (2006). Fabrication Techniques in Micromachined Capacitive Ultrasonic Transducers and their Applications. In Mems/Nems Handbook: Techniques And Applications (pp. 19-48). NY : Springer.
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