E., C., V., F., A., M., A., C., Caliano, G., AND M., P. (2006). Fabrication techniques in micromachined capacitive ultrasonic transducers and their applications. In MEMS/NEMS Handbook (pp. 19-48). NY : Springer.
Fabrication techniques in micromachined capacitive ultrasonic transducers and their applications
CALIANO, Giosue';
2006-01-01
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