Caliano, G., A., C., R., C., M., P. (2005)Microfabricated capacitive ultrasonic transducer and related surface micromechanical process of fabrication. . Brevetto No. US2005018536.

Microfabricated capacitive ultrasonic transducer and related surface micromechanical process of fabrication

CALIANO, Giosue';
2005-01-01

2005
Caliano, G., A., C., R., C., M., P. (2005)Microfabricated capacitive ultrasonic transducer and related surface micromechanical process of fabrication. . Brevetto No. US2005018536.
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