Bardhan Roy, R., Savoia, A.S. (2023)METHOD AND SYSTEM FOR PROVIDING A RELIABLE ISOLATION STACK IN CAPACITIVE MICROMACHINED ULTRASONIC TRANSDUCERS. . Brevetto No. 67010US01.

METHOD AND SYSTEM FOR PROVIDING A RELIABLE ISOLATION STACK IN CAPACITIVE MICROMACHINED ULTRASONIC TRANSDUCERS

Savoia Alessandro Stuart
2023-01-01

2023
Bardhan Roy, R., Savoia, A.S. (2023)METHOD AND SYSTEM FOR PROVIDING A RELIABLE ISOLATION STACK IN CAPACITIVE MICROMACHINED ULTRASONIC TRANSDUCERS. . Brevetto No. 67010US01.
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