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Terrasi, A., Scalese, S., Re, M., Rimini, E., Iacona, F., Raineri, V., et al. (2002). Thermal oxidation of Si (001) single crystal implanted with Ge ions. JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 91(10), 6754-6760 [10.1063/1.1471942].

Thermal oxidation of Si (001) single crystal implanted with Ge ions

MOBILIO, Settimio
2002-01-01
2002
Terrasi, A., Scalese, S., Re, M., Rimini, E., Iacona, F., Raineri, V., et al. (2002). Thermal oxidation of Si (001) single crystal implanted with Ge ions. JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 91(10), 6754-6760 [10.1063/1.1471942].
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