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A., C., H., M., S., B., Caliano, G., R., C., A., I., et al. (2002). Vibration Maps of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers by Laser Interferometry. IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL, 49.

Vibration Maps of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers by Laser Interferometry

CALIANO, Giosue';PAPPALARDO, Massimo
2002-01-01
2002
A., C., H., M., S., B., Caliano, G., R., C., A., I., et al. (2002). Vibration Maps of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers by Laser Interferometry. IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL, 49.
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