D., M., V., F., E., C., Caliano, G., Pappalardo, M. (2002). Fabrication of capacitive micromechanical ultrasonic transducers by low temperature process. SENSORS AND ACTUATORS. A, PHYSICAL, 99, 85-91.

Fabrication of capacitive micromechanical ultrasonic transducers by low temperature process

CALIANO, Giosue';PAPPALARDO, Massimo
2002-01-01

2002
D., M., V., F., E., C., Caliano, G., Pappalardo, M. (2002). Fabrication of capacitive micromechanical ultrasonic transducers by low temperature process. SENSORS AND ACTUATORS. A, PHYSICAL, 99, 85-91.
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