Lanza, G., Palmieri, V., Bemporad, E., Carassiti, F., Sebastiani, M., Padamsee, H., et al. (2007). Bias magnetron sputtering for niobium thin films. LNL- ANNUAL REPORT.

Bias magnetron sputtering for niobium thin films

BEMPORAD, Edoardo;SEBASTIANI, MARCO;
2007-01-01

2007
Lanza, G., Palmieri, V., Bemporad, E., Carassiti, F., Sebastiani, M., Padamsee, H., et al. (2007). Bias magnetron sputtering for niobium thin films. LNL- ANNUAL REPORT.
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