Evolution of the local environment around Er upon thermal annealing in Er and O co-implanted Si

Terrasi, A; Franzo, G; Coffa, S; Priolo, F; DAcapito, F; Mobilio, Settimio

doi:10.1063/1.118678

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Terrasi A, Franzo G, Coffa S, Priolo F, DAcapito F, & Mobilio S (1997). Evolution of the local environment around Er upon thermal annealing in Er and O co-implanted Si. APPLIED PHYSICS LETTERS, 70(13), 1712-1714 [10.1063/1.118678].

Titolo:	Evolution of the local environment around Er upon thermal annealing in Er and O co-implanted Si
Autori:	Terrasi A Franzo G Coffa S Priolo F DAcapito F MOBILIO, Settimio mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Data di pubblicazione:	1997
Rivista:	APPLIED PHYSICS LETTERS
Citazione:	Terrasi A, Franzo G, Coffa S, Priolo F, DAcapito F, & Mobilio S (1997). Evolution of the local environment around Er upon thermal annealing in Er and O co-implanted Si. APPLIED PHYSICS LETTERS, 70(13), 1712-1714 [10.1063/1.118678].
Handle:	http://hdl.handle.net/11590/132426
Appare nelle tipologie:	1.1 Articolo in rivista

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http://hdl.handle.net/11590/132426

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