Evolution of the local environment around Er upon thermal annealing in Er and O co-implanted Si

Terrasi, A; Franzo, G; Coffa, S; Priolo, F; Dacapito, F; Mobilio, Settimio

doi:10.1063/1.118678

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Evolution of the local environment around Er upon thermal annealing in Er and O co-implanted Si / Terrasi A; Franzo G; Coffa S; Priolo F; DAcapito F; Mobilio S. - In: APPLIED PHYSICS LETTERS. - ISSN 0003-6951. - 70:13(1997), pp. 1712-1714.

Titolo:	Evolution of the local environment around Er upon thermal annealing in Er and O co-implanted Si
Autori:	Terrasi A Franzo G Coffa S Priolo F DAcapito F MOBILIO, Settimio mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Data di pubblicazione:	1997
Rivista:	APPLIED PHYSICS LETTERS
Handle:	http://hdl.handle.net/11590/132426
Appare nelle tipologie:	1.1 Articolo in rivista

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