Vibration Maps of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers by Laser Interferometry

Caronti, A.; Majjad, H.; Ballandras, S.; Caliano, Giosue'; Carotenuto, R.; Iula, A.; Pappalardo, V. FOGLIETTI AND M.

doi:10.1109/58.990937

Benvenuti nell'Anagrafe della Ricerca d'Ateneo

La valutazione delle attività di ricerca che si svolgono nelle università ha assunto un'importanza rilevante sia per l'intero sistema universitario sia all'interno di ogni singolo ateneo. Roma Tre si è quindi dotata di idonei strumenti informativi in grado di supportare al meglio le azioni di monitoraggio e di valutazione delle attività di ricerca svolte nei propri dipartimentied ha realizzato una Anagrafe della Ricerca di Ateneo.

In this letter, a 1.8-mm × 1.8-mm capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) element is experimentally characterized by means of optical measurements. Optical displacement measurements provide information on the resonant behavior of the single membranes and also allow us to investigate the dispersion in the frequency spectrum of adjacent membranes. In addition, higher order mode shapes are observed, showing that either symmetrical or asymmetrical modes are excited in CMUT membranes. Laser interferometry vibration maps, combined with quantitative displacement measurements, provide information about the quality and repeatability of the fabrication process, which is a basic requirement for 2-D array fabrication for ultrasound imaging.

Titolo:	Vibration Maps of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers by Laser Interferometry
Autori:	A. CARONTI H. MAJJAD S. BALLANDRAS CALIANO, Giosue' R. CAROTENUTO A. IULA V. FOGLIETTI AND M. PAPPALARDO mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Data di pubblicazione:	2002
Rivista:	IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL
Abstract:	In this letter, a 1.8-mm × 1.8-mm capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) element is experimentally characterized by means of optical measurements. Optical displacement measurements provide information on the resonant behavior of the single membranes and also allow us to investigate the dispersion in the frequency spectrum of adjacent membranes. In addition, higher order mode shapes are observed, showing that either symmetrical or asymmetrical modes are excited in CMUT membranes. Laser interferometry vibration maps, combined with quantitative displacement measurements, provide information about the quality and repeatability of the fabrication process, which is a basic requirement for 2-D array fabrication for ultrasound imaging.
Handle:	http://hdl.handle.net/11590/132720
Appare nelle tipologie:	1.1 Articolo in rivista

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