Electrical activation of the Fe2+/3+ trap in Fe-implanted InP

Fraboni, B.; Gasparotto, A.; Cesca, T.; Verna, A.; Impellizzeri, G.; Priolo, F.

doi:10.1063/1.2150281

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We have studied the electrical activation of the Fe2+/3+ trap in Fe-implanted InP by means of capacitance-voltage and deep level transient spectroscopy analyses. Five deep traps have been identified and we have characterized the concentration and depth distribution of the Fe2+/3+ deep trap, located at E-C-0.66 eV. The InP substrate background doping, i.e., the Fermi-level position, plays a crucial role in the Fe activation process by setting an upper limit to the amount of Fe centers electrically activated as deep acceptor traps.

Fraboni, B., Gasparotto, A., Cesca, T., Verna, A., Impellizzeri, G., & Priolo, F. (2005). Electrical activation of the Fe2+/3+ trap in Fe-implanted InP. APPLIED PHYSICS LETTERS, 87, 252113-1-252113-3.

Titolo:	Electrical activation of the Fe2+/3+ trap in Fe-implanted InP
Autori:	B. FRABONI A. GASPAROTTO T. CESCA VERNA, ADRIANO G. IMPELLIZZERI F. PRIOLO mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Data di pubblicazione:	2005
Rivista:	APPLIED PHYSICS LETTERS
Citazione:	Fraboni, B., Gasparotto, A., Cesca, T., Verna, A., Impellizzeri, G., & Priolo, F. (2005). Electrical activation of the Fe2+/3+ trap in Fe-implanted InP. APPLIED PHYSICS LETTERS, 87, 252113-1-252113-3.
Abstract:	We have studied the electrical activation of the Fe2+/3+ trap in Fe-implanted InP by means of capacitance-voltage and deep level transient spectroscopy analyses. Five deep traps have been identified and we have characterized the concentration and depth distribution of the Fe2+/3+ deep trap, located at E-C-0.66 eV. The InP substrate background doping, i.e., the Fermi-level position, plays a crucial role in the Fe activation process by setting an upper limit to the amount of Fe centers electrically activated as deep acceptor traps.
Handle:	http://hdl.handle.net/11590/134317
Appare nelle tipologie:	1.1 Articolo in rivista

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http://hdl.handle.net/11590/134317

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