Terrasi A, Rimini E, Raineri V, Iacona F, La Via F, Colonna S, et al. (1998). Precipitation of As in thermally oxidized ion-implanted Si crystals. APPLIED PHYSICS LETTERS, 73(18), 2633-2635 [10.1063/1.122536].

Precipitation of As in thermally oxidized ion-implanted Si crystals

MOBILIO, Settimio
1998

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