Luan, H.c., Kerner, M.a., Kimerling, L.c., Colace, L., Masini, G., Assanto, G. (2001). Materials processing technology for the integration of effective Ge p-i-n photodetectors on Si for Si microphotonics. PROCEEDINGS - SPIE, 4293, 118-122 [10.1117/12.426929].

Materials processing technology for the integration of effective Ge p-i-n photodetectors on Si for Si microphotonics

COLACE, Lorenzo;ASSANTO, GAETANO
2001-01-01

Luan, H.c., Kerner, M.a., Kimerling, L.c., Colace, L., Masini, G., Assanto, G. (2001). Materials processing technology for the integration of effective Ge p-i-n photodetectors on Si for Si microphotonics. PROCEEDINGS - SPIE, 4293, 118-122 [10.1117/12.426929].
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