E., G., E., C., V., F., A., N., Evangelisti, F. (2000). Nanofabrication of quantum wires on (100) Si and SiGe by shifted-resist pattern and anisotropic wet etching. MICROELECTRONIC ENGINEERING, 53, 217-217.
Nanofabrication of quantum wires on (100) Si and SiGe by shifted-resist pattern and anisotropic wet etching
EVANGELISTI, Florestano
2000-01-01
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