Fabrication of bulk and epitaxial germanium field emitter arrays by dry etching techniques

Carta, S.; Bagni, R.; Giovine, E.; Foglietti, V; Evangelisti, Florestano; Notargiacomo, A.

doi:10.1016/j.mee.2012.11.024

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Fabrication of bulk and epitaxial germanium field emitter arrays by dry etching techniques / S Carta; R Bagni; E Giovine; Foglietti V; Evangelisti F; Notargiacomo A. - In: MICROELECTRONIC ENGINEERING. - ISSN 0167-9317. - 110(2013), pp. 230-233.

Titolo:	Fabrication of bulk and epitaxial germanium field emitter arrays by dry etching techniques
Autori:	S. Carta R. Bagni E. Giovine Foglietti V EVANGELISTI, Florestano Notargiacomo A. mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Data di pubblicazione:	2013
Rivista:	MICROELECTRONIC ENGINEERING
Handle:	http://hdl.handle.net/11590/136885
Appare nelle tipologie:	1.1 Articolo in rivista

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