S., C., R., B., E., G., Foglietti, V., Evangelisti, F., Notargiacomo, A. (2013). Fabrication of bulk and epitaxial germanium field emitter arrays by dry etching techniques. MICROELECTRONIC ENGINEERING, 110, 230-233 [10.1016/j.mee.2012.11.024].
Fabrication of bulk and epitaxial germanium field emitter arrays by dry etching techniques
EVANGELISTI, Florestano;
2013-01-01
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