S Carta, R Bagni, E Giovine, Foglietti V, Evangelisti F, & Notargiacomo A (2013). Fabrication of bulk and epitaxial germanium field emitter arrays by dry etching techniques. MICROELECTRONIC ENGINEERING, 110, 230-233 [10.1016/j.mee.2012.11.024].

Fabrication of bulk and epitaxial germanium field emitter arrays by dry etching techniques

EVANGELISTI, Florestano;
2013

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