S Carta, R Bagni, E Giovine, Foglietti V, Evangelisti F, & Notargiacomo A (2013). Fabrication of bulk and epitaxial germanium field emitter arrays by dry etching techniques. MICROELECTRONIC ENGINEERING, 110, 230-233 [10.1016/j.mee.2012.11.024].
Titolo: | Fabrication of bulk and epitaxial germanium field emitter arrays by dry etching techniques | |
Autori: | ||
Data di pubblicazione: | 2013 | |
Rivista: | ||
Citazione: | S Carta, R Bagni, E Giovine, Foglietti V, Evangelisti F, & Notargiacomo A (2013). Fabrication of bulk and epitaxial germanium field emitter arrays by dry etching techniques. MICROELECTRONIC ENGINEERING, 110, 230-233 [10.1016/j.mee.2012.11.024]. | |
Handle: | http://hdl.handle.net/11590/136885 | |
Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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