S., C., R., B., E., G., Foglietti, V., Evangelisti, F., Notargiacomo, A. (2013). Fabrication of bulk and epitaxial germanium field emitter arrays by dry etching techniques. MICROELECTRONIC ENGINEERING, 110, 230-233 [10.1016/j.mee.2012.11.024].

Fabrication of bulk and epitaxial germanium field emitter arrays by dry etching techniques

EVANGELISTI, Florestano;
2013-01-01

2013
S., C., R., B., E., G., Foglietti, V., Evangelisti, F., Notargiacomo, A. (2013). Fabrication of bulk and epitaxial germanium field emitter arrays by dry etching techniques. MICROELECTRONIC ENGINEERING, 110, 230-233 [10.1016/j.mee.2012.11.024].
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