A., N., E., G., Evangelisti, F., V., F., AND R., L. (2002). EBL and AFM based techniques for nanowire fabrication on Si/SiGe. MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING. C, BIOMIMETIC MATERIALS, SENSORS AND SYSTEMS, 19, 185-188.
EBL and AFM based techniques for nanowire fabrication on Si/SiGe
EVANGELISTI, Florestano;
2002-01-01
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