V., F., E., C., D., M., Caliano, G., M., P. (2001). Fabrication of capacitive ultrasonic transducers by a low-temperature and fully surface-micromachined process. In PROC. 2TH INTERNATIONAL CONF. OF EUSPEN 2001 (pp.46-49).
Fabrication of capacitive ultrasonic transducers by a low-temperature and fully surface-micromachined process
CALIANO, Giosue';
2001-01-01
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