Caliano, G., A., C., A., S., C., L., E., C., V., F., et al. (2005). Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer (cMUT) Made by a Novel “Reverse” Fabrication Process. In Proceedings of IEEE IUS.
Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer (cMUT) Made by a Novel “Reverse” Fabrication Process
CALIANO, Giosue';
2005-01-01
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