Sebastiani, M., Bemporad, E., Melone, G., Rizzi, L., Korsunsky, A.M. (2010). A New Methodology For In-Situ Residual Stress Measurement In MEMS Structures. In AIP conference proceedings (pp.120-126) [10.1063/1.3527116].
A New Methodology For In-Situ Residual Stress Measurement In MEMS Structures
SEBASTIANI, MARCO;BEMPORAD, Edoardo;
2010-01-01
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