Caliano, G., Caronti, A., Savoia, A.S., Longo, C., Cianci, E., Foglietti, V., et al. (2005). Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer (cMUT) Made by a Novel “Reverse” Fabrication Process”. In Ultrasonics Symposium, 2005 IEEE (pp.479-482) [10.1109/ULTSYM.2005.1602895].
Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer (cMUT) Made by a Novel “Reverse” Fabrication Process”
CALIANO, Giosue';SAVOIA, ALESSANDRO STUART;
2005-01-01
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