Sebastiani, M., Bemporad, E., G., M., L., R., A. M., K. (2010). A New Methodology For In-Situ Residual Stress Measurement In MEMS Structures. In Stress-Induced Phenomena in Metallization (pp.120-126). MELVILLE, NEW YORK (USA) : AIP Conference Proceedings [10.1063/1.3527116].
A New Methodology For In-Situ Residual Stress Measurement In MEMS Structures
SEBASTIANI, MARCO;BEMPORAD, Edoardo;
2010-01-01
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