A., C., A., C., A., S., C., L., P., G., B., M., et al. (2008). Curvilinear capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) array fabricated using a reverse process. In Proc. of IEEE IUS (pp.2092-2095). Piscataway (NJ) : IEEE.
Curvilinear capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) array fabricated using a reverse process
CALIANO, Giosue';
2008-01-01
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