Caliano, G., V., F., F., G., A., C., N., L., R., C., et al. (2000). Micromachined ultrasonics transducers using silicon nitride membrane fabricated in PECVD technology. In PROCEEDINGS OF 2000 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM.

Micromachined ultrasonics transducers using silicon nitride membrane fabricated in PECVD technology

CALIANO, Giosue';
2000-01-01

2000
0-7803-6368-6
Caliano, G., V., F., F., G., A., C., N., L., R., C., et al. (2000). Micromachined ultrasonics transducers using silicon nitride membrane fabricated in PECVD technology. In PROCEEDINGS OF 2000 IEEE INTERNATIONAL ULTRASONICS SYMPOSIUM.
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