V., F., Caliano, G., E., C., F., G., M., P. (2000). Fabrication of micromechanical capacitive ultrasonic transducers by surface micromachining. In PROC. OF MICRO.TEC 2000 (pp.79-83).
Fabrication of micromechanical capacitive ultrasonic transducers by surface micromachining
CALIANO, Giosue';
2000-01-01
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