Caliano, G., V., F., F., G., A., C., N., L., R., C., et al. (2000). Micromachined ultrasonics transducers using silicon nitride membrane fabricated in PECVD technology. ??????? it.cilea.surplus.oa.citation.tipologie.CitationProceedings.prensentedAt ??????? IEEE International Ultrasonics Symposium; Puerto Rico (USA).
Micromachined ultrasonics transducers using silicon nitride membrane fabricated in PECVD technology
CALIANO, Giosue';PAPPALARDO, Massimo
2000-01-01
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