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Yamamoto, Y., Itoh, Y., Zaumseil, P., Schubert, M.A., Capellini, G., Montalenti, F., et al. (2018). Alignment control of self-ordered three dimensional SiGe nanodots. SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, 33(11), 114014 [10.1088/1361-6641/aae62d].

Alignment control of self-ordered three dimensional SiGe nanodots

G. Capellini
Formal Analysis
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2018-01-01
2018
Yamamoto, Y., Itoh, Y., Zaumseil, P., Schubert, M.A., Capellini, G., Montalenti, F., et al. (2018). Alignment control of self-ordered three dimensional SiGe nanodots. SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, 33(11), 114014 [10.1088/1361-6641/aae62d].
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