Benvenuti nell'Anagrafe della Ricerca d'Ateneo
La valutazione delle attività di ricerca che si svolgono nelle università ha assunto un'importanza rilevante sia per l'intero sistema universitario sia all'interno di ogni singolo ateneo. Roma Tre si è quindi dotata di idonei strumenti informativi in grado di supportare al meglio le azioni di monitoraggio e di valutazione delle attività di ricerca svolte nei propri dipartimentied ha realizzato una Anagrafe della Ricerca di Ateneo.
EnglishDownscaling has been a focal task of Electronics and Electromechanics in the last few decades, and a great engine for technological progress as well. Nevertheless, a scaling operation affects device physics, functioning and performance. The present paper investigates about the impact of scaling on a test case compliant electrostatic micro or nano actuator that is under development with two preferred micro fabrication methods, namely, thick SOI and thin amorphous silicon. A series of numerical trials on materials strength, electro-mechanical characteristics, sensitivity and overall actuation performance have been carried out at different grades of down-scaling and of aspect ratio. This gave rise to new design charts that we propose here as a predictive and friendly guide to select the most appropriate micro fabrication method.
Buzzin, A., Rossi, A., Giovine, E., de Cesare, G., & Belfiore, N.P. (2022). Downsizing Effects on Micro and Nano Comb Drives. ACTUATORS, 11(3), 71 [10.3390/act11030071].
| Titolo: | Downsizing Effects on Micro and Nano Comb Drives | |
| Autori: | BELFIORE, NICOLA PIO (Corresponding) | |
| Data di pubblicazione: | 2022 | |
| Rivista: | ||
| Citazione: | Buzzin, A., Rossi, A., Giovine, E., de Cesare, G., & Belfiore, N.P. (2022). Downsizing Effects on Micro and Nano Comb Drives. ACTUATORS, 11(3), 71 [10.3390/act11030071]. | |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11590/401685 | |
| Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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