Botta, F., Rossi, A., Belfiore, N.P. (2022). A Cantilever-Based Piezoelectric MEMS for Arbitrary XY Path Generation. MICROMACHINES, 13(9), 1514 [10.3390/mi13091514].

A Cantilever-Based Piezoelectric MEMS for Arbitrary XY Path Generation

Botta F.
Conceptualization
;
Rossi A.
Software
;
Belfiore N. P.
Writing – Review & Editing
2022-01-01

2022
Botta, F., Rossi, A., Belfiore, N.P. (2022). A Cantilever-Based Piezoelectric MEMS for Arbitrary XY Path Generation. MICROMACHINES, 13(9), 1514 [10.3390/mi13091514].
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