Botta, F., Rossi, A., Belfiore, N.P. (2022). A Cantilever-Based Piezoelectric MEMS for Arbitrary XY Path Generation. MICROMACHINES, 13(9), 1514 [10.3390/mi13091514].
A Cantilever-Based Piezoelectric MEMS for Arbitrary XY Path Generation
Botta F.
Conceptualization
;Rossi A.Software
;Belfiore N. P.Writing – Review & Editing
2022-01-01
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